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選型Busch干式螺桿真空泵COBRA BC 0600 F
瀏覽次數(shù):1273發(fā)布日期:2022-01-05

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性能出色

的螺桿設(shè)計,鐘形懸臂結(jié)構(gòu),榮獲利的自平衡螺桿,出色的運行品質(zhì),集成羅茨泵,非常適用于 load lock 腔和傳送腔、計量、平版印刷術(shù)、物理氣相沉積以及快速熱退火等應(yīng)用

高效

擁有成本低,維護少,保養(yǎng)間隔長,正常運行時間長,直接水冷卻

結(jié)構(gòu)緊湊

密閉式設(shè)計,直聯(lián)的罐裝電機

TECHNICAL DATACOBRA BC 0600 F
額定抽速520 m3/h
極限壓力0.003 hPa (mbar)
前級泵電機額定功率1.5 kW
羅茨真空泵電機額定功率4.0 kW
功耗(怠速模式)1.1 kW
極限壓力時的功耗2.1 kW
前級泵電機額定轉(zhuǎn)速3000 min?1
羅茨真空泵電機額定轉(zhuǎn)速3000 min?1
噪聲級(ISO 2151)62 dB(A)
耗水量3.0 l/min
氮氣消耗量0 – 50 l/min
重量(約)315 kg
尺寸(L x W x H)933 x 354 x 694 mm
進氣口DN 63 ISO–K
排氣口DN 40 ISO–KF

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