XY 軸載物臺(tái)，通過在手動(dòng)載物臺(tái)上添加壓電輔助機(jī)構(gòu)，可以進(jìn)行 20nm 或更小的微調(diào)。 非常適合需要高分辨率位置調(diào)整的手動(dòng)平臺(tái)單元和系統(tǒng)。可提供 25x25、40x40、60x60mm 的載物臺(tái)尺寸。

注：

安裝載物臺(tái)時(shí)，請注意不要讓千分尺支架受到震動(dòng)。 否則，壓電輔助機(jī)構(gòu)可能會(huì)損壞。

壓電輔助專用控制器（PASC）的電源關(guān)閉時(shí)，壓電輔助的位置調(diào)整將改變，微調(diào)位置將移動(dòng)。

• 壓電輔助平臺(tái)的專用控制器無需任何設(shè)置即可輕松進(jìn)行微調(diào)。

• 表盤式旋鈕的微調(diào)即使與測微頭結(jié)合使用也可以毫無阻力地使用。

• 使用壓電輔助控制器（PASC）調(diào)整微調(diào)機(jī)構(gòu)。壓電輔助平臺(tái)隨附一根壓電輔助控制器連接電纜 (2m)。

載物臺(tái)尺寸 [mm]：60×60

行程軸：XY 軸

粗調(diào)行程 [mm]：±6.5

精細(xì)驅(qū)動(dòng)行程 [μm]：>30μm

千分尺位置：側(cè)面

行程/旋轉(zhuǎn) [mm] ：0.5

千分尺可讀分辨率 [mm] ：0.01

壓電分辨率：<20nm

導(dǎo)向方式：延伸接觸球軸承導(dǎo)向

主要材料：鋁

涂層：黑色陽極氧化

負(fù)載能力 [N] ：49(5kgf)

行程精度/直線度 [μm] ：3

力矩容量max.：

間距 [N?m] ：4.9

滾動(dòng) [N?m] ：4.9

偏航 [N?m] ：4.9

力矩剛度

間距 [″/N·cm] ：0.6

滾動(dòng) [″/N?cm] ：0.6

平行度 [μm] ：50

正交性 [μm] ：10

運(yùn)行平行度 [μm] ：20

重量 [kg] ：0.5